二次离子质谱

应用：痕量杂质定性定量（标样法）分析

优点：检测限可达PPM，甚至PPB量级，能检测含氢在内的所有元素及同位素，分析化合物组分及有机大分子

             结构，能够进行微区成分的成像及深度剖面分析

缺点：定量差，样品表面需要平整，破坏样品

应用领域：半导体及微电子领域：基体表面痕量杂质分析

环境领域：大气中微粒成分分析、地质样品

纳米材料的结构