原理：利用受激原子俄歇跃迁退激过程发射的俄歇电子对试样微区的表面成分进行的定性定量分析

应用：

定性分析---定性分析样品表面物质的元素种类

定量分析或半定量分析----俄歇电子强度与样品中对应原子的浓度有线性关系，据此可以进行元

素的半定量分析，AES不是一种很好的定量分析方法，它给出的仅仅是半定量的分析结果。

案例：LED碎片，表面污染物来源诊断